En zorlu uygulamalar için 18,2 MΩ·cm özdirençli Tip 1 veya Ultra Saf su gereklidir. 18,2 MΩ·cm özdirençli su, özdirenç değerlerini etkilemeyen organik kirleticiler, endotoksinler ve nükleazlar içerebilir. Bu nedenle bunları ortadan kaldırmak için diğer teknolojilerin kullanılması esastır, yani Ultraviyole (UV) Foto Oksidasyon ve Ultrafiltrasyon (UF). Bu kalitede su üreten ekipmana sıklıkla parlatıcı denir ve yerelleştirilmiş bir Ters Ozmoz sisteminden veya merkezi bir halka ana sisteminden beslenebilir. Çift dalga boylu bir ultraviyole (UV) ışık (185 nm ve 254 nm), bakteri ve organik seviyelerinin çok düşük bir seviyede tutulmasını sağlar. DNase/RNase içermeyen su üretmek için bir ultrafiltre (UF) de birleştirilebilir.
